Microsystème de génération d'un jet ...
Type de document :
Brevet
Titre :
Microsystème de génération d'un jet synthétique, procédé de fabrication et dispositif de contrôle d'écoulement correspondants
Auteur(s) :
Gimeno-Monge, L. [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Merlen, Alain [Auteur]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Viard, R. [Auteur]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Merlen, Alain [Auteur]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Viard, R. [Auteur]
Date de publication :
2011-01-14
Numéro du brevet :
FR2947813 (A1)
Langue :
Français
Commentaire :
n° de priorité : FR20090054692 20090707 ; également publié en tant que : WO2011004124 (A2) 2011-01-13 ; WO2011004124 (A3) 2011-02-24 ; FR2947813 (B1) 2011-12-16
Source :