Title :

Dispositif de mise en mouvement d'un fluide et procédé de fabrication

Author(s) :

Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dargent, Thomas [Auteur]
Grondel, Sebastien [Auteur]
Paquet, J.B. [Auteur]

Publication date :

2010-03-26

Patent number :

FR2936288 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20080005235 20080923 ; également publié en tant que : WO2010034899 (A1) 2010-04-01

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL