Piezoelectric thin films for MEMS applications ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Piezoelectric thin films for MEMS applications - A comparative study of PZT, 0.7PMN-0.3PT and 0.9PMN-0.1PT thin films grown on Si by r.f. magnetron sputtering
Author(s) :
Herdier, R. [Auteur]
Detalle, M. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Detalle, M. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Sensors and Actuators A: Physical
Pages :
122-128
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2008
ISSN :
0924-4247
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :
Files
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