Piezoelectric thin films for MEMS applications ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Piezoelectric thin films for MEMS applications - A comparative study of PZT, 0.7PMN-0.3PT and 0.9PMN-0.1PT thin films grown on Si by r.f. magnetron sputtering
Auteur(s) :
Herdier, R. [Auteur]
Detalle, M. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Detalle, M. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Sensors and Actuators A: Physical
Pagination :
122-128
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2008
ISSN :
0924-4247
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-5D0M0V4H-8/fulltext.pdf?sid=hal
- Accès libre
- Accéder au document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-5D0M0V4H-8/fulltext.pdf?sid=hal
- Accès libre
- Accéder au document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-5D0M0V4H-8/fulltext.pdf?sid=hal
- Accès libre
- Accéder au document
- https://api.istex.fr/ark:/67375/6H6-5D0M0V4H-8/fulltext.pdf?sid=hal
- Accès libre
- Accéder au document
- fulltext.pdf
- Accès libre
- Accéder au document