Thermally actuated probe arrays for ...
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Thermally actuated probe arrays for manipulation and characterization of individual bio-cell
Auteur(s) :
Kim, Beomjoon [Auteur]
Collard, Dominique [Auteur]
Lagouge, Matthieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, Dominique [Auteur]
Lagouge, Matthieu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conseil, F. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
TRANSDUCERS '03. 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
Ville :
Boston, MA
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2003-06-08
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS'03
Éditeur :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Date de publication :
2003
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Probes
Sensor arrays
Etching
Actuators
Biosensors
Fabrication
Optical sensors
Fluidics
Force measurement
Electric variables measurement
Sensor arrays
Etching
Actuators
Biosensors
Fabrication
Optical sensors
Fluidics
Force measurement
Electric variables measurement
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
We introduce a new concept of thermal micro-actuators combined with electrical sensor device to capture and characterize individual living bio-cell. In our micro fabricated device, cantilevers integrated with sensing part ...
Lire la suite >We introduce a new concept of thermal micro-actuators combined with electrical sensor device to capture and characterize individual living bio-cell. In our micro fabricated device, cantilevers integrated with sensing part (surface micro-machined poly-silicon) and actuation using the difference of the thermal expansion coefficients between poly-Si and transparent thick polymer (SU-8), are built from a flow channel on the substrate. This paper deals with the detail fabrication, actuation of device and the simulation results for our bimorph probe arrays. The motion of the actuated device is well coincident with the calculated value.Lire moins >
Lire la suite >We introduce a new concept of thermal micro-actuators combined with electrical sensor device to capture and characterize individual living bio-cell. In our micro fabricated device, cantilevers integrated with sensing part (surface micro-machined poly-silicon) and actuation using the difference of the thermal expansion coefficients between poly-Si and transparent thick polymer (SU-8), are built from a flow channel on the substrate. This paper deals with the detail fabrication, actuation of device and the simulation results for our bimorph probe arrays. The motion of the actuated device is well coincident with the calculated value.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Source :