Low-loss InGaAsP/InP submicron optical ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Low-loss InGaAsP/InP submicron optical waveguides fabricated by ICP etching
Auteur(s) :
Dupont, Samuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Beaurain, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Miska, Patrice [Auteur]
Zegaoui, Malek [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules - UMR 8523 [PhLAM]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Li, Hongwu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chazelas, Jean [Auteur]
Thales Airborne Systems
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Beaurain, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Miska, Patrice [Auteur]
Zegaoui, Malek [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Laboratoire de Physique des Lasers, Atomes et Molécules - UMR 8523 [PhLAM]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Li, Hongwu [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire Avancé de Spectroscopie pour les Intéractions la Réactivité et l'Environnement - UMR 8516 [LASIRE]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chazelas, Jean [Auteur]
Thales Airborne Systems
Titre de la revue :
Electronics Letters
Pagination :
865-866
Éditeur :
IET
Date de publication :
2004
ISSN :
0013-5194
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
The fabrication and characterisation of low-loss InGaAsP/InP optical submicron waveguides made with ICP etching is reported. Their width ranges from 0.2 to 2 μm. For the 0.5 μm width, the propagation losses at λ=1.55 μm ...
Lire la suite >The fabrication and characterisation of low-loss InGaAsP/InP optical submicron waveguides made with ICP etching is reported. Their width ranges from 0.2 to 2 μm. For the 0.5 μm width, the propagation losses at λ=1.55 μm as low as 4.2 dB/mm have been measured.Lire moins >
Lire la suite >The fabrication and characterisation of low-loss InGaAsP/InP optical submicron waveguides made with ICP etching is reported. Their width ranges from 0.2 to 2 μm. For the 0.5 μm width, the propagation losses at λ=1.55 μm as low as 4.2 dB/mm have been measured.Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :