High pressure-resistant SU-8 microchannels ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
Titre :
High pressure-resistant SU-8 microchannels for monolithic porous structure integration
Auteur(s) :
Carlier, Julien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chuda, K. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Thomy, V. [Auteur]
Verbeke, B. [Auteur]
Camart, J.C. [Auteur]
Druon, C. [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Coqueret, X. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chuda, K. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Thomy, V. [Auteur]
Verbeke, B. [Auteur]
Camart, J.C. [Auteur]
Druon, C. [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Coqueret, X. [Auteur]
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2006
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :
Date de dépôt :
2021-07-27T23:33:09Z