High pressure-resistant SU-8 microchannels ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/54409
Title :
High pressure-resistant SU-8 microchannels for monolithic porous structure integration
Author(s) :
Carlier, Julien [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chuda, K. [Auteur]
Arscott, S. [Auteur]
Thomy, V. [Auteur]
Verbeke, B. [Auteur]
Camart, J.C. [Auteur]
Druon, C. [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Coqueret, X. [Auteur]
Publisher :
IOP Publishing
Publication date :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T23:33:09Z