Title :

Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate

Author(s) :

Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Helal, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vanbésien, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Electronics Letters

Pages :

821-822

Publisher :

IET

Publication date :

1996

ISSN :

0013-5194

English keyword(s) :

Coplanar waveguides
Transmission lines

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Autre

English abstract : [en]

GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several ...
Show more >GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several line configurations show a constant phase velocity of 2.9E8 m/s and a predominance of metallic losses with a square root frequency dependence.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Comment :

P. Salzenstein, O. Dupuis, M. Hélal, E. Lheurette, O. Vanbésien, P. Mounaix and D. Lippens, "Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate", Electronics Letters, 25th April 1996, 32, N°9, pp. 821-82

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL