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Coplanar waveguides on dielectric membranes ...
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Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate
Author(s) :
Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Helal, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vanbésien, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mounaix, Patrick [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lippens, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Journal title :
Electronics Letters
Pages :
821-822
Publisher :
IET
Publication date :
1996
ISSN :
0013-5194
English keyword(s) :
Coplanar waveguides
Transmission lines
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Autre
English abstract : [en]
GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several ...
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GaAs micromachining technology was used for fabricating coplanar transmission lines on Si3N4 and polyimide membranes deposited on GaAs substrates. On-wafer measurements of scattering parameters up to 75 GHz for several line configurations show a constant phase velocity of 2.9E8 m/s and a predominance of metallic losses with a square root frequency dependence.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Comment :
P. Salzenstein, O. Dupuis, M. Hélal, E. Lheurette, O. Vanbésien, P. Mounaix and D. Lippens, "Coplanar waveguides on dielectric membranes micromachined on GaAs substrate", Electronics Letters, 25th April 1996, 32, N°9, pp. 821-82
Collections :
  • Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Source :
Harvested from HAL
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