High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
High quality factor Hybrid SAW/BAW resonators
Auteur(s) :
Barsoum, S. [Auteur correspondant]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Hellion, C. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Vermande, E. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Quemper, J.M. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Bousquet, M. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Reinhardt, A. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Laroche, T. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Ballandras, S. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Dubus, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Hellion, C. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Vermande, E. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Quemper, J.M. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Bousquet, M. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Reinhardt, A. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Minatec
Laroche, T. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Ballandras, S. [Auteur]
Frec'n'sys SASU [Frec'n'sys SASU]
Dubus, Bertrand [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique - IEMN [ACOUSTIQUE - IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
EFTF/IFCS 2022 - Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium
Ville :
Paris
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2022-04-24
Titre de l’ouvrage :
2022 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium (EFTF/IFCS)
Éditeur :
IEEE
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Hybrid SAW/BAW resonators
High quality factor
AlN
High quality factor
AlN
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively ...
Lire la suite >We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.Lire moins >
Lire la suite >We report hybrid SAW/BAW resonators based on arrays of AlN/Mo transducers located atop a silicon substrate. Thanks to an optimized fabrication process, these devices exhibit quality factors up to 3,900 and 1,700 respectively for the pseudo-SAW and pseudo-BAW modes, at frequencies close to 600 MHz and 2.9 GHz.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
Oral presentation in Session - Surface Acoustic Wave Devices
Source :
Fichiers
- https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03778679/document
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- Barsoum_IFCS2022.pdf
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