Front cover of the Journal of Micromechanics ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Front cover of the Journal of Micromechanics and Microengineering (IOP)
Auteur(s) :
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2023-06-01
ISSN :
0960-1317
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Micromechanics
Microengineering
On-wafer probes
Microcantilever
Microengineering
On-wafer probes
Microcantilever
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
The front cover refers to the article 'Quantifying and correcting tilt-related positioning errors in microcantilever-based microelectromechanical systems probes'The front cover refers to the article 'Quantifying and correcting tilt-related positioning errors in microcantilever-based microelectromechanical systems probes'Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Projet ANR :
Source :
Fichiers
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