Titre :

A Comparative Study of Divergent Surface Acoustic Wave Beams’ Generation on an Y128° Lithium Niobate Using Various Types of Interdigital Transducers

Auteur(s) :

Duquennoy, Marc [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Fall, Dame [Auteur]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ben Jafela, Nada [Auteur]
Université Polytechnique Hauts-de-France [UPHF]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Smagin, Nikolay [Auteur]
Université Polytechnique Hauts-de-France [UPHF]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Oumekloul, Zakariae [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Chehami, Lynda [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Moulin, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Ouaftouch, Mohammadi [Auteur]
Université Polytechnique Hauts-de-France [UPHF]
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

Sensors

Pagination :

1067

Éditeur :

MDPI

Date de publication :

2025-02-11

ISSN :

1424-8220

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Acoustique [physics.class-ph]

Résumé en anglais : [en]

This study focuses on the possibility of generating divergent surface acoustic waves (SAWs) with interdigital transducers (IDTs) deposited on Y128° Lithium Niobate for non-destructive testing applications, particularly in ...
Lire la suite >This study focuses on the possibility of generating divergent surface acoustic waves (SAWs) with interdigital transducers (IDTs) deposited on Y128° Lithium Niobate for non-destructive testing applications, particularly in the context of manufacturing layer-on-substrate systems for microelectronic components. The selected approach is to diffuse the SAWs over a large surface area and in various directions in order to analyze the structure and detect any defects when using the well-known passive imaging by correlating the diffuse acoustic field. The introduction of SAWs is achieved using offset interdigital transducers that make acoustic contact with the sample under analysis without causing damage. The considered IDTs are characterized based on criteria for maximizing the divergence angle, maximizing SAW emission amplitude, and minimizing the acoustic contact area. Three IDT configurations were tested to compare their performance: (i) a transducer with circular electrodes emitting from its wide convex end; (ii) a circular IDT emitting from its narrow concave end; and (ii) a narrow transducer with an aperture close to two wavelengths. It was shown that the second configuration provides the highest SAW amplitude, which is important while measuring the diffuse acoustic field. Nevertheless, the third one was particularly efficient in terms of reducing the contact area.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Corrélation des ondes acoustiques diffuses dans des microstructures de type couche-sur-substrat

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL

Date de dépôt :

2025-02-27T21:44:10Z