New insights in sputtered transition metal ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès sans actes
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/13652
Title :
New insights in sputtered transition metal nitride films for on chip micro-supercapacitors
Author(s) :
Robert, Kevin [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
stievenard, didier [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ouendi, Saliha [Auteur]
Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Douard, Camille [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Roussel, Pascal [Auteur] orcid refId
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Lethien, Christophe [Auteur correspondant] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
236th Electrochemical Society Meeting (ECS236)
City :
Atlanta
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2019-10
HAL domain(s) :
Chimie/Chimie inorganique
Language :
Anglais
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Administrative institution(s) :
CNRS
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Collections :
Research team(s) :
Matériaux inorganiques, structures, systèmes et propriétés (MISSP)
Submission date :
2019-09-27T12:10:34Z
2019-10-24T08:25:49Z
2021-05-19T08:59:16Z
2022-02-22T10:12:30Z
Version history
VersionLinkModification date
420.500.12210/13652*2022-02-22T10:10:51Z
320.500.12210/13652.32021-05-19T08:58:48Z
220.500.12210/13652.22019-10-24T08:25:08Z
120.500.12210/13652.12019-09-27T12:10:34Z

*Selected version