Step conformal solid electrolyte deposited ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès sans actes
Permalink :
Title :
Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery
Author(s) :
Létiche, Manon [Auteur]
Eustache, Étienne [Auteur]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eustache, Étienne [Auteur]
Freixas, Jeremy [Auteur]
Morgenroth, Laurence [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]

Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Brousse, Thierry [Auteur]
Lethien, Christophe [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Material Research Society Spring Meeting (MRS Spring 2016)
City :
Phoenix
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2016-03
HAL domain(s) :
Chimie/Chimie inorganique
Language :
Anglais
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Administrative institution(s) :
CNRS
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Centrale Lille
ENSCL
ISEN
Institut Catholique Lille
Univ. Artois
Univ. Valenciennes
Université de Lille
Collections :
Research team(s) :
Matériaux inorganiques, structures, systèmes et propriétés (MISSP)
Submission date :
2019-09-25T15:21:16Z
2020-01-31T14:23:49Z
2020-01-31T14:23:49Z