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Surface micromachining of chip-edge silicon microcantilevers using xenon difluoride etching of silicon-on-insulator
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing, 08-2021, 31; 8, 085001Article dans une revue scientifique -
Surface micromachining of chip-edge silicon microcantilevers using xenon difluoride etching of silicon-on-insulator
Journal of Micromechanics and Microengineering, IOP Publishing, 08-2021, 31; 8, 085001Compte-rendu et recension critique d'ouvragetexte intégral