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A silicon beam-based microcantilever nanoelectrosprayer
Elsevier, 2007Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...) -
A new four states high deflection low actuation voltage electrostatic MEMS switch for RF applications
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008, 2008, Proceedings of the 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008, _, 2008 -
Silicon nano-ESI emitters for mass spectrometry : a mixed micromechanical and microfluidic design
14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, 2007, Proceedings of the 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'07, IEEE, Piscataway, NJ, USA, 2007 -
Sub-attolitre nanodroplet deposition using a silicon-based nanoelectrospray emitter tip
Elsevier, 2007Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...) -
Optimization of ohmic contact and adhesion on polysilicon in MEMS-NEMS wet etching process
Elsevier, 2011Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...) -
Variation of absorption coefficient and determination of critical dose of SU-8 at 365 nm
American Institute of Physics, 2006Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...) -
Micromoteur entraîné par friction à double sens de rotation
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, Troyes, 2005, 2005 -
Compensation par conception de la dilatation thermique de micro-interrupteurs RF
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, Troyes, 2005, 2005 -
Actionneurs électrostatiques complètement isolés : fabrication, fonctionnement et caractérisation en milieu liquide
Actes du XVIIème Congrès Français de Mécanique, CFM 2005, Troyes, 2005, 2005