MEMS High Temperature Gradient Sensor for ...
Type de document :
Article dans une revue scientifique: Article original
Titre :
MEMS High Temperature Gradient Sensor for Skin-Friction Measurements in Highly Turbulent Flows
Auteur(s) :
Ghouila-Houri, Cécile [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Viard, Romain [Auteur]
Gallas, Quentin [Auteur]
Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille - Kampé de Fériet [LMFL]
Garnier, Eric [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Molton, Pascal [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Delva, Jerome [Auteur]
Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille - Kampé de Fériet [LMFL]
Merlen, Alain [Auteur]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]

Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
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Viard, Romain [Auteur]

Gallas, Quentin [Auteur]
Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille - Kampé de Fériet [LMFL]
Garnier, Eric [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Molton, Pascal [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Delva, Jerome [Auteur]
Laboratoire de Mécanique des Fluides de Lille - Kampé de Fériet [LMFL]
Merlen, Alain [Auteur]

Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]

Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
IEEE Sensors Journal
Pagination :
9749-9755
Éditeur :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Date de publication :
2021
ISSN :
1530-437X
Mot(s)-clé(s) en anglais :
MEMS SENSOR
SKIN-FRICTION MEASUREMENT
SKIN-FRICTION MEASUREMENT
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des fluides [physics.class-ph]
Physique [physics]/Physique [physics]/Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]
Résumé en anglais : [en]
This paper presents and discusses the results obtained with a MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) high temperature gradient sensor for time-averaged and fluctuating skin-friction measurements in highly turbulent flows. ...
Lire la suite >This paper presents and discusses the results obtained with a MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) high temperature gradient sensor for time-averaged and fluctuating skin-friction measurements in highly turbulent flows. Designed as a robust wall-mounted suspended hot-wire structure, the micro-sensor was made using conventional microfabrication techniques, compatible with microelectronics for designing integrated smart systems. Successfully implemented into two air wind tunnels, the sensor was tested in a large range of turbulent flows, with mainstream velocities going up to 270 m/s (Mach number of 0.79), which corresponds to the mean velocity of airliner cruise flights. The experiments demonstrated the wide dynamic range of the micro-sensor without reaching its limits. The micro-sensor thereby demonstrated its value for measuring turbulence in aerodynamic applications, being particularly suitable for aeronautics.Lire moins >
Lire la suite >This paper presents and discusses the results obtained with a MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) high temperature gradient sensor for time-averaged and fluctuating skin-friction measurements in highly turbulent flows. Designed as a robust wall-mounted suspended hot-wire structure, the micro-sensor was made using conventional microfabrication techniques, compatible with microelectronics for designing integrated smart systems. Successfully implemented into two air wind tunnels, the sensor was tested in a large range of turbulent flows, with mainstream velocities going up to 270 m/s (Mach number of 0.79), which corresponds to the mean velocity of airliner cruise flights. The experiments demonstrated the wide dynamic range of the micro-sensor without reaching its limits. The micro-sensor thereby demonstrated its value for measuring turbulence in aerodynamic applications, being particularly suitable for aeronautics.Lire moins >
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
This article was presented in part at the IEEE Sensors 2019 and in part at the Selected Papers from the IEEE SENSORS 2019 Conference.
Source :
Fichiers
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