Title :

Conducting interpenetrating polymer network sized to fabricate microactuators

Author(s) :

Khaldi, Alexandre [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Plesse, Cedric [Auteur]
Université de Cergy Pontoise [UCP]
CY Cergy Paris Université [CY]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Soyer, Caroline [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cattan, Eric [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vidal, Frederic [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Legrand, Christiane [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Teyssié, Dominique [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]

Journal title :

Applied Physics Letters

Pages :

164101

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2011-04-18

ISSN :

0003-6951

HAL domain(s) :

Chimie/Matériaux
Chimie/Polymères
Sciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux

English abstract : [en]

Interpenetrating polymer networks can become successful actuators in the field of microsystems providing they are compatible with microtechnologies. In this letter, we report on a material synthesized from poly(3,4-ethyl ...
Show more >Interpenetrating polymer networks can become successful actuators in the field of microsystems providing they are compatible with microtechnologies. In this letter, we report on a material synthesized from poly(3,4-ethylenedioxythiophene) and polytetrahydrofuran/poly(ethylene oxide) and microsized by decreasing its thickness to 12µm and patterning the lateral side using plasma etching at high etch rates and with vertical sidewalls. A chemical process and a “self degradation” are proposed to explain such etching rates. Preliminary actuation results show that microbeams can move with very large displacements. These microsized actuators are potential candidates in numerous applications, including microswitches, microvalves, microoptical instrumentation, and microrobotics. This research was financially supported by ANR under Grant No. ANR-09-BLAN-0110 and the Foundation d’Entreprise EADS.Show less >

Language :

Anglais

Popular science :

Non

ANR Project :

INsecte ARtificiel volanT

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL