Title :

High Frequency Acoustic On-Chip Integration for Particle Characterization and Manipulation in Microfluidics

Author(s) :

Li, Sizhe [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Wuhan University [China]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Toubal, Malika [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Liu, Huiqin [Auteur]
Wuhan University [China]
Campistron, Pierre [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Callens, Dorothee [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Nassar, Georges [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520 [IEMN-DOAE]
Guo, Shishang [Auteur]
Wuhan University [China]

Journal title :

Applied Physics Letters

Pages :

163503

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2017

ISSN :

0003-6951

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Sciences de l'ingénieur [physics]/Acoustique [physics.class-ph]

English abstract : [en]

This letter presents a microfluidic device that integrates high frequency (650 MHz) bulk acoustic waves for the realization of particle handling on-chip. The core structure of the microfluidic chip is made up of a confocal ...
Show more >This letter presents a microfluidic device that integrates high frequency (650 MHz) bulk acoustic waves for the realization of particle handling on-chip. The core structure of the microfluidic chip is made up of a confocal lens, a vertical reflection wall, and a ZnO film transducer coupled with a silicon substrate for exciting acoustic beams. The excited acoustic waves propagate in bulk silicon and are then guided by a 45° silicon mirror into the suspensions in the microchannel; afterwards, the acoustic energy is focused on particles by the confocal lens and reflected by a reflection wall. Parts of the reflected acoustic energy backtrack into the transducer, and acoustic attenuation measurements are characterized for particle detection. Meanwhile, a strong acoustic streaming phenomenon can be seen around the reflection wall, which is used to implement particle manipulation. This platform opens a frontier for on-chip integration of high sensitivity acoustic characterization and localized acoustic manipulation in microfluidics.Show less >

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Comment :

JIF=3.495

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL