Title :

Aerodynamic wall pressure measurement using a high temperature gradient Pirani micro-sensor

Author(s) :

Ghouila-Houri, Cécile [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kazar Mendes, Munique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arnoult, Thomas [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Viard, Romain [Auteur]
Gallas, Quentin [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Garnier, Eric [Auteur]
DAAA, ONERA, Université Paris Saclay [Meudon]
Merlen, Alain [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pernod, Philippe [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

2020 IEEE SENSORS

City :

Rotterdam

Country :

Pays-Bas

Start date of the conference :

2020-10-25

Journal title :

Proceedings of IEEE Sensors 2020

Publisher :

IEEE

Publication date :

2020

English keyword(s) :

Pirani sensor
Pressure sensor
MEMS
Aerodynamic wall pressure.

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]
Physique [physics]
Chimie
Mathématiques [math]
Informatique [cs]

English abstract : [en]

This paper presents and discusses the first demonstration of aerodynamic wall pressure measurement using a thermal Pirani effect based micro-sensor. The thermal micro-sensor is designed as a suspended micro-hot-wire separated ...
Show more >This paper presents and discusses the first demonstration of aerodynamic wall pressure measurement using a thermal Pirani effect based micro-sensor. The thermal micro-sensor is designed as a suspended micro-hot-wire separated from the substrate by a nanoscale gap, and mechanically supported by perpendicular micro-bridges. The micro-sensor was calibrated for pressure measurement from 10 kPa to 800 kPa. It was then used as aerodynamic wall pressure sensor in a turbulent boundary layer wind tunnel and successfully measured the 1.1 kPa depression occurring in the wind tunnel when the flow velocity goes up to 40 m/s.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

ANR Project :

Capteurs et Actionneurs MEMS pour Le ConTrôle réactif de décollement sur voleT

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL