An Integrated Photoacoustic Terahertz Gas Sensor

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/IRMMW-THz.2019.8873764
Title :
An Integrated Photoacoustic Terahertz Gas Sensor
Author(s) :
Verstuyft, Mattias [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University = Université de Gand [UGENT]
Photonics Research Group
Akiki, Elias [Auteur]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Walter, Benjamin [Auteur]
Vmicro SAS
Faucher, Marc [Auteur] refId
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Vanwolleghem, Mathias [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Photonique THz - IEMN [PHOTONIQUE THZ - IEMN]
Kuyken, Bart [Auteur]
Universiteit Gent = Ghent University = Université de Gand [UGENT]
Photonics Research Group
Conference title :
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2019-09-01
Book title :
2019 44th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves (IRMMW-THz)
Publisher :
IEEE
English keyword(s) :
Acoustics
Cavity resonators
Heating systems
Q-factor
Damping
Silicon
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
English abstract : [en]
An on-chip gas detector that transduces absorbed terahertz light to a mechanical motion using photoacoustics is proposed. The silicon chip confines light in an optical cavity, wherein an acousto-mechanical cavity is housed. ...
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Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Files
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