Titre :

Operation of near-field scanning millimeter-wave microscopy up to 67 GHz under scanning electron microscopy vision

Auteur(s) :

Polovodov, P [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Théron, Didier [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Eliet, Sophie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Avramovic, Vanessa [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Deresmes, D. [Auteur]
Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN [PCMP - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dambrine, Gilles [Auteur]
Advanced NanOmeter DEvices - IEMN [ANODE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haddadi, Kamel [Auteur]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

IEEE MTT International Microwave Symposium, IMS 2020

Ville :

Los Angeles (On-line event)

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

2020-08-04

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of IEEE/MTT-S International Microwave Symposium, IMS 2020

Titre de la revue :

Proceedings of IEEE/MTT-S International Microwave Symposium, IMS 2020

Date de publication :

2020-06

Mot(s)-clé(s) en anglais :

RF nanotechnology
near-Field scanning microwave microscopy (NSMM)
atomic force microscopy (AFM)
scanning electron microscopy (SEM)
millimeter-wave

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

A near-field scanning millimeter-wave microscope is developed with broadband capabilities up to 67 GHz. The instrumentation has been designed to operate inside a scanning electron microscope for environment control and ...
Lire la suite >A near-field scanning millimeter-wave microscope is developed with broadband capabilities up to 67 GHz. The instrumentation has been designed to operate inside a scanning electron microscope for environment control and water meniscus elimination. Scanning electron microscopy imaging of the tip / sample interaction gives the unique possibility to limit the scan area and preserve the integrity of the probe tip. In addition, hybrid imaging considering simultaneously atomic, microwave and electron microscopy tools is beneficial for further modeling to address the quantitative characterization of nanomaterials. Experimental data are exemplary shown to demonstrate the viability of the solution proposed.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Centre expérimental pour l'étude des propriétés des nanodispositifs dans un large spectre du DC au moyen Infra-rouge.

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL