Titre :

Steps toward integration of zeolite-based thermal mass gas detectors to form electronic nose

Auteur(s) :

Denoual, Matthieu [Auteur]
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
Pouliquen, Mathieu [Auteur]
Laboratoire d'automatique de Caen [LAC]
Jorel, Corentin [Auteur]
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
Robbes, Didier [Auteur]
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
Grand, Julien [Auteur]
Laboratoire catalyse et spectrochimie [LCS]
Debost, Maxime [Auteur]
Laboratoire catalyse et spectrochimie [LCS]
Mintova, Svetlana [Auteur]
Laboratoire catalyse et spectrochimie [LCS]
Harnois, Maxime [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
de Sagazan, Olivier [Auteur]
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique [IETR]
Inoue, Shu [Auteur]
intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory [iSML]
Lebrasseur, Eric [Auteur]
intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory [iSML]
Yamada, Kentaro [Auteur]
intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory [iSML]
Okamoto, Yuki [Auteur]
intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory [iSML]
Mita, Yoshio [Auteur]
intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory [iSML]

Titre de la manifestation scientifique :

2019 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP)

Ville :

Paris

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2019-05-12

Éditeur :

IEEE

Date de publication :

2019-07-04

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Gas detectors
Coatings
Micromechanical devices
Sensivity
Detectors
Metals
CMOS integrated circuits
Electronic noses
Mass measurement
Sensor arrays
Temperature measurement
Temperature sensors
Zeolites
Thermal gas detection
Electronic nose

Discipline(s) HAL :

Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Résumé en anglais : [en]

In this paper, we show the integration steps we have undertaken for the integration of a recently proposed new principle for gas detection. Benefits of integration and co-integration of the miniaturized detectors with CMOS ...
Lire la suite >In this paper, we show the integration steps we have undertaken for the integration of a recently proposed new principle for gas detection. Benefits of integration and co-integration of the miniaturized detectors with CMOS electronics will be the realization of arrays of selective detectors resulting in a new kind of electronic nose.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL