Micromachining techniques at terahertz frequencies
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Titre :
Micromachining techniques at terahertz frequencies
Auteur(s) :
Arscott, Steve [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Miles, R.E. [Auteur]
Milne, S.J. [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Miles, R.E. [Auteur]
Milne, S.J. [Auteur]
Titre de la revue :
IEE Proceedings - Circuits, Devices and Systems
Pagination :
335
Date de publication :
1998
ISSN :
1350-2409
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :