Robotic on-wafer probe station for microwave ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/MWSYM.2015.7166970
Title :
Robotic on-wafer probe station for microwave characterization in a scanning electron microscope
Author(s) :
Haddadi, Kamel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
El Fellahi, A. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Marzouk, J. [Auteur]
Arscott, Steve [Auteur] refId
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Lasri, Tuami [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dambrine, Gilles [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
2015 IEEE MTT-S International Microwave Symposium (IMS2015)
City :
Phoenix, Arizona
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2015-05-17
Publisher :
IEEE
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL