Electrostatic bending actuators with a ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/MEMSYS.2017.7863369
Titre :
Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Auteur(s) :
Gaudet, M. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Uhlig, S. [Auteur]
Stolz, M. [Auteur]
Arscott, Steve [Auteur] refId
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conrad, H. [Auteur]
Langa, S. [Auteur]
Kaiser, B. [Auteur]
Schenk, H. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
2017 IEEE 30th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
Ville :
Las Vegas
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2017-01-22
Éditeur :
IEEE
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL