Design and measurement of AFM probe based ...

Type de document :
Article dans une revue scientifique: Article original
DOI :
10.11884/HPLPB201527.024119
Titre :
Design and measurement of AFM probe based on MEMS resonator
Auteur(s) :
Xiong, Zhuang [Auteur]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Équipe Microsystèmes électromécaniques [LAAS-MEMS]
Titre de la revue :
High Power Laser and Particle Beams
Pagination :
024119-1
Éditeur :
China Academy of Engineering Physics and Nuclear Society
Date de publication :
2015-02
ISSN :
1001-4322
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Résumé en anglais : [en]
In order to effectively prompt the resonance frequency and the quality factor of atomic force microscope (AFM) probes simultaneously, a novel oscillating probe based on a I2 shaped MEMS resonator was conceived, designed, ...
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Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL