Patterning process and actuation in open ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1117/12.915086
Title :
Patterning process and actuation in open air of micro-beam actuator based on conducting IPNs
Author(s) :
Khaldi, Alexandre [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Plesse, Cedric [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Soyer, Caroline [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chevrot, Claude [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Teyssie, Dominique [Auteur]
Laboratoire de Physico-chimie des Polymères et des Interfaces [LPPI]
Vidal, Frederic [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
SPIE Smart Structures and Materials + Nondestructive Evaluation and Health Monitoring
City :
San Diego
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2012
HAL domain(s) :
Chimie/Matériaux
Physique [physics]/Mécanique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL