Transistor MOS à espaceurs d'air
Type de document :
Brevet
Titre :
Transistor MOS à espaceurs d'air
Auteur(s) :
Niebojewski, Heimanu [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Morand, Yves [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Le Royer, Cyrille [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Morand, Yves [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Le Royer, Cyrille [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Date de publication :
2014-08-08
Numéro du brevet :
FR3001831 (A1)
Langue :
Français
Commentaire :
n° de priorité : FR20130050941 20130204 ; également publié en tant que : EP2763177 (A1) 2014-08-06 ; US2014217520 (A1) 2014-08-07
Source :