Titre :

Transistor MOS à espaceurs d'air

Auteur(s) :

Niebojewski, Heimanu [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Morand, Yves [Auteur]
STMicroelectronics [Crolles] [ST-CROLLES]
Le Royer, Cyrille [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]

Date de publication :

2014-08-08

Numéro du brevet :

FR3001831 (A1)

Langue :

Français

Commentaire :

n° de priorité : FR20130050941 20130204 ; également publié en tant que : EP2763177 (A1) 2014-08-06 ; US2014217520 (A1) 2014-08-07

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL