[Invited] MEMS research, applications and results

Type de document :

Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes

Titre :

Auteur(s) :

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Workshop on Nanoscale Processing for MEMS and NEMS

Ville :

Villeneuve d'Ascq

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2014

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

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