Multi-level microfabrication method used ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Multi-level microfabrication method used for the 3D AC electroosmotic micropump optimization
Author(s) :
Dubourg, G. [Auteur]
Treizebre, Anthony [Auteur] refId
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
39th International Conference on Micro and Nano Engineering, MNE 2013
City :
London
Country :
Royaume-Uni
Start date of the conference :
2013
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL