Title :

Etude de la cinétique des espèces principales induites par un plasma N2/O2 dans un réacteur de dépôt de couches minces organosiliciés

Author(s) :

Annusova, Adriana [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Slovak Academy of Sciences [SAS]
Foissac, Corinne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Veis, Pavel [Auteur]
Slovak Academy of Sciences [SAS]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

Journée UGéPE Nord Pas-de-Calais

City :

Villeneuve d'Ascq

Country :

France

Start date of the conference :

2013

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Language :

Français

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL