Titre :

Epitaxial growth of AlN thin films at low temperature by magnetron sputtering technique

Auteur(s) :

Camus, Julien [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Simon, Quentin [Auteur]
Università degli Studi di Padova = University of Padua [Unipd]
Aït Aïssa, Keltouma [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Bensalem, Salma [Auteur]
Le Brizoual, Laurent [Auteur]
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique [IETR]
Tessier, Gilles [Auteur]
Laboratoire Photons Et Matière
Scudeller, Yves [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Djouadi, Mohamed Abdou [Auteur]
Institut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
Cordier, Yvon [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Frayssinet, Éric [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
De Jaeger, Jean-Claude [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Chmielowska, Magdalena [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Nemoz, Maud [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Vennéguès, Philippe [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Chenot, Sébastien [Auteur]
Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications [CRHEA]
Defrance, Nicolas [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lesecq, Marie [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Altuntas, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cutivet, Adrien [Auteur]
Puissance - IEMN [PUISSANCE - IEMN]
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] [LN2]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Agboton, Alain [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2013, Symposium J - Semiconductor nanostructures towards electronic and optoelectronic device applications IV

Ville :

Strasbourg

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2013

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL