Title :

AlGaN/GaN heterostructures with very-thin buffer on Si (111) for NEMS applications : electrical and mechanical study

Author(s) :

Leclaire, P. [Auteur]
Cordier, Y. [Auteur]
Chenot, Sébastien [Auteur]
Théron, Didier [Auteur]
Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Conference title :

22nd European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2013

City :

Glasgow, Scotland

Country :

Royaume-Uni

Start date of the conference :

2013

Book title :

Proceedings of 22nd European Workshop on Heterostructure Technology, HeTech 2013

Publication date :

2013

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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