Title :

Contribution à la conception optimale de microsystèmes en silicium à actionnement électrostatique. Synthèse automatique, réalisation et caractérisation d'une micropince à haute résolution de force

Author(s) :

Grira, Aymen [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Publication date :

2013

Language :

Français

Audience :

Non spécifiée

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL