Titre :

Piezoelectric characteristics of metal ferroelectric metal structure on indium tin oxide coated silicon and glass substrate by sputtering

Auteur(s) :

Dogheche, El Hadj [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Kerkache, L. [Auteur]
Jenkins, D. [Auteur]
Roussel, Pascal [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

20th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, ISIF 2008

Ville :

Singapour

Pays :

Singapour

Date de début de la manifestation scientifique :

2008

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL