4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
4.8 MHz AFM nanoprobes with capacitive transducers and batch-fabricated nanotips
Author(s) :
Walter, Benjamin [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Mairiaux, Estelle [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Faucher, Marc [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xiong, Zhuang [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
XXIème Congrès Général de la Société Française de Physique, SFP 2011
City :
Bordeaux
Country :
France
Start date of the conference :
2011-07-04
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
We report here on high resonance frequency AFM probes based on MEMS bulk mode resonators. They consist on silicon ring resonators with capacitive transducers vibrating in the in-plane elliptic mode. Nano-tips placed at the ...
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Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL