Integration of high frequency piezoelectric ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Integration of high frequency piezoelectric transducer for lab-on-chip
Author(s) :
Gao, J. [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S. [Auteur]
Campistron, Pierre [Auteur]
Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Guo, S. [Auteur]
Zhao, X. [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur]

Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S. [Auteur]
Campistron, Pierre [Auteur]

Debavelaere-Callens, Dorothée [Auteur]
Guo, S. [Auteur]
Zhao, X. [Auteur]
Nongaillard, Bertrand [Auteur]

Scientific editor(s) :
Société Française d'Acoustique
Conference title :
Acoustics 2012
City :
Nantes
Country :
France
Start date of the conference :
2012-04-23
Book title :
Acoustics 2012 Nantes
Publication date :
2012-04-23
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :
Files
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