Titre :

Electrode size effect under PFM characterization of PZT-film on silicon structures with micro- and nanometric top electrodes

Auteur(s) :

Bravina, S.L. [Auteur]
Morozovsky, N.V. [Auteur]
Eliseev, E.A. [Auteur]
Morozovska, A.N. [Auteur]
Costecalde, J. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Deresmes, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Joint 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and 2011 International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, ISAF-PFM-2011

Ville :

Vancouver

Pays :

Canada

Date de début de la manifestation scientifique :

2011

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of Joint 20th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics and 2011 International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, ISAF-PFM-2011

Date de publication :

2011

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL