Modélisation de la croissance des nanofils ...

Document type :
Partie d'ouvrage
Title :
Modélisation de la croissance des nanofils de Si et métrologie à l'échelle atomique de la composition des nanofils
Author(s) :
Chen, Wanghua [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publication date :
2011
Language :
Français
Audience :
Non spécifiée
Collections :
Source :
Harvested from HAL