Improved micromachining of all SU-8 3D ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
10.1016/j.mee.2011.01.065
Titre :
Improved micromachining of all SU-8 3D structures for a biologically-inspired flying robot
Auteur(s) :
Bao, X.Q. [Auteur]
Dargent, Thomas [Auteur] refId
Grondel, Sebastien [Auteur] refId
Paquet, J.B. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pagination :
2218-2224
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2011
ISSN :
0167-9317
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Fichiers
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