Title :

Dispositif microélectromécanique avec structure d'actionnement piezoélectrique

Author(s) :

Faucher, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Publication date :

2012-08-10

Patent number :

FR2971243 (A1)

Language :

Français

Comment :

n° de priorité : FR20110000403 20110209 ; également publié en tant que : WO2012107888 (A1) 2012-08-16 ; FR2971243 (B1) 2013-03-08

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL