One port contour-mode ZnO piezoelectric ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
One port contour-mode ZnO piezoelectric MEMS resonator
Auteur(s) :
Gryba, Tadeusz [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S.X. [Auteur]
Zhao, X.Z. [Auteur]
Guo, S. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S.X. [Auteur]
Zhao, X.Z. [Auteur]
Guo, S. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Titre de la revue :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pagination :
3003-3010
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2011
ISSN :
0167-9317
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Aluminium nitride
MEMS resonators
Piezoelectric resonators
Zinc-oxide
MEMS resonators
Piezoelectric resonators
Zinc-oxide
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
This paper reports on design, fabrication and experimental testing of one port ZnO contour-mode resonant MEMS. The devices are fabricated from silicon wafers using a 4-mask process. The use of contour modes, whose frequencies ...
Lire la suite >This paper reports on design, fabrication and experimental testing of one port ZnO contour-mode resonant MEMS. The devices are fabricated from silicon wafers using a 4-mask process. The use of contour modes, whose frequencies are set by lithographically defined dimensions, permits the fabrication of multiple filters at arbitrary frequencies on the same chip. The one port ZnO contour mode resonator is compared with the AlN structure.Lire moins >
Lire la suite >This paper reports on design, fabrication and experimental testing of one port ZnO contour-mode resonant MEMS. The devices are fabricated from silicon wafers using a 4-mask process. The use of contour modes, whose frequencies are set by lithographically defined dimensions, permits the fabrication of multiple filters at arbitrary frequencies on the same chip. The one port ZnO contour mode resonator is compared with the AlN structure.Lire moins >
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :
Fichiers
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