One port contour-mode ZnO piezoelectric ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
10.1016/j.mee.2011.04.062
Titre :
One port contour-mode ZnO piezoelectric MEMS resonator
Auteur(s) :
Gryba, Tadeusz [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlier, Julien [Auteur] refId
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, S.X. [Auteur]
Zhao, X.Z. [Auteur]
Guo, S. [Auteur]
Lefebvre, Jean-Etienne [Auteur]
Titre de la revue :
MICROELECTRONIC ENGINEERING
Pagination :
3003-3010
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2011
ISSN :
0167-9317
Mot(s)-clé(s) en anglais :
Aluminium nitride
MEMS resonators
Piezoelectric resonators
Zinc-oxide
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
This paper reports on design, fabrication and experimental testing of one port ZnO contour-mode resonant MEMS. The devices are fabricated from silicon wafers using a 4-mask process. The use of contour modes, whose frequencies ...
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Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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