Titre :

Micro-patterning of LiPON and lithium iron phosphate material deposited onto silicon nanopillars array for lithium ion solid state 3D micro-battery

Auteur(s) :

Lethien, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Zegaoui, Malek [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Roussel, Pascal [Auteur]
Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 [UCCS]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Rolland, Paul-Alain [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

MICROELECTRONIC ENGINEERING

Pagination :

3172-3177

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2011

ISSN :

0167-9317

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Lithium ion
Micro-battery
Micro-patterning
Silicon nanopillar array

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

The paper deals with the methodology used to form regular pattern of sputtered thin films LiPON/LiFePO4 material acting respectively as the solid electrolyte and the positive electrode of the lithium ion solid state 3D ...
Lire la suite >The paper deals with the methodology used to form regular pattern of sputtered thin films LiPON/LiFePO4 material acting respectively as the solid electrolyte and the positive electrode of the lithium ion solid state 3D micro-battery. The micromachining of the silicon periodic nanopillars array (negative electrode of the micro-battery) is also reported. The proposed study clearly demonstrates a breakthrough technology in the field of lithium ion micro-battery as the ecologically friendly LiFePO4 material has never been evaluated as the positive electrode.Lire moins >

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL