Titre :

PZT films etched by focused Ga+ ion beam : study of ion damage

Auteur(s) :

Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Liang, R. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Troadec, david [Auteur]
Deresmes, D. [Auteur]
Dong, X. [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2009, Symposium H : Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale Multi Functional Oxide Films II

Ville :

Strasbourg

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2009

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL