PZT films etched by focused Ga3+ ion beam ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
PZT films etched by focused Ga3+ ion beam : studies of ion damage and post annealing treatment effects
Author(s) :
Remiens, Denis [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Liang, R.H. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Troadec, david [Auteur] refId
Deresmes, D. [Auteur]
Dacosta, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur] refId
Conference title :
International Symposium on Piezoresponse Force Microscopy and Nanoscale Phenomena in Polar Materials, PFM 2009
City :
Aveiro
Country :
Portugal
Start date of the conference :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL