TEM studies of PtSi low Schottky-barrier ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.2478/s11534-010-0135-4
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/49250
Title :
TEM studies of PtSi low Schottky-barrier contacts for source/drain in MOS transistors
Author(s) :
Laszcz, A. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Czerwinski, A. [Auteur]
Katcki, J. [Auteur]
Breil, N. [Auteur]
Larrieu, G. [Auteur]
Dubois, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Publisher :
Springer Verlag
Publication date :
2011
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T17:31:55Z