Actuation and sensing integration challenges ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/FREQ.2010.5556369
Titre :
Actuation and sensing integration challenges at the microscale : the Gordian Knot of the resonant bioMEMS realm
Auteur(s) :
Nicu, Liviu [Auteur]
Alava, Thomas [Auteur]
Mathieu, Fabrice [Auteur]
Ayela, Cédric [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Remiens, Denis [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
64th IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2010
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 64th IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010
Date de publication :
2010
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL