Title :

Effects of ultrathin TiOx seeding layer on crystalline orientation and electrical properties of sputtered (Ba,Sr)TiO3 thin films

Author(s) :

Yang, L.H. [Auteur]
Wang, G.S. [Auteur]
Dong, X.L. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Journal of the American Ceramic Society

Pages :

2136-2139

Publisher :

Wiley

Publication date :

2010

ISSN :

0002-7820

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL