Bottom and top electrodes nature and PZT film thickness influence on electrical properties

Type de document :

Compte-rendu et recension critique d'ouvrage

DOI :

Titre :

Auteur(s) :

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Verrue, C. [Auteur]
Bouregba, R. [Auteur]

Titre de la revue :

Sensors and Actuators A: Physical

Pagination :

99-105

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2010

ISSN :

0924-4247

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

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