Titre :

Kinetics of RPECVD organosilicon polymer post-treatment in a N2/O2 microwave plasma remote afterglow

Auteur(s) :

Abou Rich, S. [Auteur]
Mille, V. [Auteur]
Vivien, Celine [Auteur]
Godey, Sylvie [Auteur]
Supiot, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

Plasma Processes and Polymers

Pagination :

775-784

Éditeur :

Wiley-VCH Verlag

Date de publication :

2010

ISSN :

1612-8850

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL