Thermoelastic FEM-BEM model for MEMS ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/MEMSYS.2009.4805535
Title :
Thermoelastic FEM-BEM model for MEMS resonator simulation
Author(s) :
Ekeom, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
Country :
Italie
Start date of the conference :
2009
Book title :
Proceedings of the 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009
Publisher :
_
Publication date :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL